发布日期: 2024年10月08日 11:08

智能微纳机电系统课题组

一、课题组介绍

本课题组紧密结合集成电路前端设计和后端测试的技术领域，通过建设相关实验设施，可以实现工业级基于特种集成电路的微纳系统设计、研发和生产。包括基于特种集成电路的微纳系统芯片关键技术的研究、基于三代半导体的极端微纳系统的传感器研究、10nm以下制程特种集成电路芯片抗辐照性能的研究、以及智能传感器的自组网信号传输研究。

1.基于特种集成电路的微诊疗系统芯片关键技术的研究

集成电路产业发展中的微纳机电系统（MEMS）研发等问题，开展医学经皮给药系统等医疗器械微、微机械传感器等小型化方面等研究，突破经皮给药小剂量和药物输送率低等关键技术，开发经皮给药新型给药微系统等装备，潜在引发医学给药方式的变革。

2.基于三代半导体的极端MEMS传感器研究

主要研究新型SiC基MEMS氢敏传感器，是一种高灵敏度、高分辨率、耐高温腐蚀环境的氢气浓度检测器件，采用新型SBD结构，工艺简单、可靠性高，在恶劣环境氢气泄漏检测中有重要应用价值。本MEMS压力传感器，是一种恶劣环境应用的压力敏感器件，采用双凹槽电容式结构、接触工作模式，具有灵敏度高、线性度好、输出电容大、测量范围宽等优点，在空间探测、国防军工、石油化工等高温辐射环境中有重要应用价值。

3.10nm以下制程特种集成电路芯片抗辐照性能的研究

通过搭建超快脉冲激光器（激光脉宽小于100飞秒）研究系统，来实现激光脉冲波长的可调制性，激光波形的可观测性，激光能量的可控制性以及激光照射位置的可定位性。该系统搭建成功后，还需编写相关控制软件，来实现整体系统的可控性。

4.智能传感器自组网系统

以分布式、异构化的网络融合模式，研究传感器自适应网络和可进化网络中短距离低功耗传输相关技术与5G移动网络的融合应用中的关键技术研发、硬件设计方案定制、以及系统集成，形成一个技术研发与应用相结合的演示平台，包括传感器有序连接构成采集、传输、协同处理的信息网络，实现数据的采集量化、传输应用、能耗管理和综合处理。研制一套传感器行业应用的示范平台系统，加快形成高科技成果产业化的孵化平台。

在服务经济社会发展方面也取得很好的业绩。通过以与企业合作和横向课题的形式为企业排忧解难，解决企业技术难题。专利转化的工作，也正在开展中。已与相关公司浅谈专利转化事宜。

二、课题组成员